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专利名称：晶圆承载装置专利类型：实用新型专利
发明人：王泰兴,宋坤锭,钟富全,谢锦焕,吴明璋申请号：CN201520419576.1申请日：20150617公开号：CN204732386U公开日：20151028
摘要：本实用新型公开一种晶圆承载装置，包含上盖体、板体及下盖体。上盖体本体具有第一静电屏蔽层，且上盖体内部镂空形成中空部。板体嵌设在中空部中。下盖体本体具有第二静电屏蔽层，下盖体的一端可拆卸地枢接在上盖体一端，下盖体的一面由中心至邻近外缘的部分朝另一面凹陷形成容纳空间，以容纳晶圆组件。其中，上盖体受外力远离下盖体并且由第一位置位移至第二位置时，上盖体的一面与下盖体的所述面间具有默认角度。
申请人：晟铭电子(宁波)有限公司
地址：315800 浙江省宁波市北仑保税东区港东大道25号
国籍：CN
代理机构：深圳中一专利商标事务所
代理人：寇闯
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